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超小型ガス質量分析計
１．概要
本装置は、板ガラス内に存在する泡（気泡）のガス成分や圧力を測定する装置です。
測定は泡を内在した規格寸法のガラスサンプルを密閉した超高真空の小空間に隔離し、泡の中心部をおので割って泡の中のガスを小空間にみたし、キャピラリ（小径パイプ）を通して質量分析計にて測定し、泡ガスの発生源をつきとめる装置です。
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２．構成
| クラッシャーチャンバー |
Al合金製
真空度１０-6Pa代
クラッシャー機構・位置あわせ機構付 |
| ロードロックチャンバー |
Al合金製
真空度１０-3Pa代
試料サンプル加熱機構（Max１５０℃）付 |
| 試料導入機 |
マグネットカップリング方式 |
| 質量分析計ユニット |
エルフィー１０３
（真田機械㈱製 １８０℃偏向傾斜磁場セクター） |
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